GRYLLS數(shù)字模擬量 差壓式質量流量控制器
采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩(wěn)定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出:瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。
GRYLLS數(shù)字模擬量 差壓式質量流量控制器
沒有附加的“比熱容"誤差。所以,即使測量氣體與出廠時的標定氣體不同,也不會影響測量精度。
各量程設備規(guī)格參數(shù)(有關選配項,請聯(lián)系 Grylls) | |||||||
全量程質量流量控制器 | 機械尺寸 | 氣路過程連接接口規(guī)格 | |||||
6610系列 0.5-10 sccm | 5.83"H x 3.94"W x 1.14"D | G3/8" Female Thread | |||||
6610系列 10-100 sccm | |||||||
6610系列 100-500 sccm | |||||||
6610系列 500-1000 sccm | |||||||
6610系列 1000-2000 sccm | |||||||
6610系列 2-5 slm | |||||||
6610系列 5-20 slm | |||||||
6610系列 20-30 slm | |||||||
6620系列 30-100 slm | 6.22"H x 4.53"W x 1.38"D | G3/8" Female Thread | |||||
6620系列 100-200 slm | |||||||
6620系列 200-300 slm | |||||||
6630系列 300-500 slm | 7.13"H x 9.25"W x 2.91"D | G1/2" Female Thread | |||||
6630系列 500-1000 slm | |||||||
6630系列 1000-2000 slm | |||||||
6630系列 2000-3000 slm | |||||||
6630系列 3000-6000 slm | 7.13"H x 9.25"W x 2.91"Dx2 | Double G1/2"Female Thread | |||||
1. 低壓損可用質量流量控制器請聯(lián)系Grylls。 2. 產(chǎn)品尺寸等參數(shù)值見圖紙 。 3. 氣路內螺紋與表面密封、快插接頭和卡套接頭等配件兼容。也可根據(jù)用戶要求提供VCR等接頭相兼容。 | |||||||