概況：
錦正茂JZM-D30室溫探針臺(tái)的諸多設(shè)計(jì)都是專(zhuān)用的，探針臺(tái)的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如，要求的磁場(chǎng)型號(hào)，電源型號(hào)，磁場(chǎng)值，樣品臺(tái)的尺寸等，除此之外，該探針臺(tái)和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用，可以提高磁場(chǎng)的高穩(wěn)定性。因此，該類(lèi)型的探針臺(tái)主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。
技術(shù)參數(shù)：
①磁場(chǎng)型號(hào):EM3加長(zhǎng)版
②電源型號(hào):JP10-40，優(yōu)于50ppm
③磁場(chǎng)值:>1000Gs@60mm間距
④磁場(chǎng)分辨率:優(yōu)于0.1Gs
⑤三維探針座:高精度三維探針座4個(gè)
⑥載物臺(tái)直徑:30mm
⑦Y軸位移-15mm至200mm,精度優(yōu)于10微米
⑧X軸位移±15mm,精度優(yōu)于10微米
⑨Z軸行程10mm,精度優(yōu)于20微米
⑩R軸旋轉(zhuǎn):360度粗調(diào)，±5°范圍內(nèi)精調(diào)，精調(diào)精度10'
?顯微鏡:體視顯微鏡，變倍范圍優(yōu)于10-150倍。
?機(jī)械加工精度優(yōu)于10微米。
探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)
※*大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件？是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片，*小的單顆芯片尺寸？
※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？
※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？
※*多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？
※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試？
※光學(xué)顯微鏡的*小分辨率需要用到多少？
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)？
※探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要**否達(dá)到100fa或者以下？低電容要**否要做到0.1pf？是否有射頻需求？
※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些？
※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對(duì)chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？
