IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1
OPTM-A1,Opt-scope,Auto SE,VS1800,Smartproof 5
IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1
IKEIDARIKA池田理化膜厚儀OPTM-A1
OPTM-A1,Opt-scope,Auto SE,VS1800,Smartproof 5
顯微分光膜厚儀OPTM系列特征:
薄膜厚度測(cè)量所需的功能集成在測(cè)量頭中。
使用顯微光譜法進(jìn)行高精度絕對(duì)反射率測(cè)量。
每1秒以內(nèi)的高速測(cè)量。
實(shí)現(xiàn)顯微鏡下寬測(cè)量波長(zhǎng)范圍的光學(xué)系統(tǒng)。
區(qū)域傳感器安全機(jī)制。
一個(gè)簡(jiǎn)單的分析向?qū)?，即使是初次使用的用戶也可以進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析。
配備可自定義測(cè)量順序的宏功能。
支持各種自定義。
Opt-scope是一種白光干涉顯微鏡(非接觸式三維表面粗糙度/形狀測(cè)量?jī)x),能夠在所有鏡頭放大倍率下以0.01nm的高分辨率進(jìn)行高速測(cè)量。從窄范圍內(nèi)的精細(xì)粗糙度測(cè)量到寬范圍內(nèi)的起伏形狀測(cè)量,可以在廣泛的測(cè)量條件下進(jìn)行亞納米級(jí)表面紋理測(cè)量。帶有可選電動(dòng)XY載物臺(tái)的拼接功能可實(shí)現(xiàn)更寬范圍的測(cè)量。
自動(dòng)薄膜測(cè)量裝置Auto SE特征:
非接觸式無(wú)損測(cè)量,不會(huì)損壞樣品；
可在1nm至15μm范圍內(nèi)評(píng)估膜厚；
還可以評(píng)估材料的光學(xué)常數(shù)(折射率 n、消光系數(shù)k)；
也可以評(píng)估單層和多層結(jié)構(gòu)；
支持小至100μm見(jiàn)方的微小區(qū)域的測(cè)量；
標(biāo)配電動(dòng)XYZ載物臺(tái),支持面內(nèi)分布測(cè)量；
實(shí)現(xiàn)樣品表面狀況和測(cè)量位置的可視化。
線掃描膜厚測(cè)試儀TI系列特征:
采用線掃描方式實(shí)現(xiàn)無(wú)"遺漏"的全面薄膜檢測(cè)
膜厚測(cè)量范圍:0.7～300μm；
10ms獲取500mm寬度1mm間隔數(shù)據(jù)；
作為薄膜厚度測(cè)量專業(yè)制造商的全面支持；
可進(jìn)行高速高精度測(cè)量；
使用抗抖動(dòng)的光學(xué)系統(tǒng)；
可處理寬樣品(可測(cè)量TD方向最長(zhǎng)10m)；
硬件和軟件的原創(chuàng)設(shè)計(jì)。
VS1800納米三維光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)利用光干涉現(xiàn)象測(cè)量微小的表面輪廓，實(shí)現(xiàn)高性能薄膜、半導(dǎo)體、汽車零部件和顯示器行業(yè)所需的高精度測(cè)量。此外，還可以非破壞性地測(cè)量多層薄膜的層結(jié)構(gòu)和層內(nèi)的異物。
工業(yè)廣角共聚焦顯微鏡Smartproof 5通過(guò)采用圓盤共聚焦技術(shù)，與傳統(tǒng)激光顯微鏡相比，它在保持高分辨率的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了壓倒性的高速成像。高清4兆像素?cái)z像頭以50fps的高速平面內(nèi)掃描捕獲2048x2048像素。
