可斷電使用的高穩(wěn)定性機械式大口徑變形鏡

自2003年以來，它們被CEA成功地測試出了兆焦耳激光，并取代了壓電技術(shù)。自2007年以來，ISP系統(tǒng)已經(jīng)安裝了幾十個使用微型驅(qū)動器的MD-AME可變形反射鏡。其主要特點是不存在“print-through”效應(yīng)，運動線性度高，遲滯率低，在不加電源的情況下具有穩(wěn)定性。ISP系統(tǒng)專業(yè)從事精密工程、光學(xué)力學(xué)和機電一體化等領(lǐng)域，ISP為激光系統(tǒng)和同步變色器開發(fā)了帶有機電驅(qū)動器和定位器的ISP機械式變形鏡。

ISP可變形反射鏡具有動態(tài)校正范圍大、維護(hù)方便、涂層選擇方便、易于對大口徑激光束擴展、抗電磁脈沖等優(yōu)點。它們與高真空兼容，并提出了一種低放氣版本，適用于可變形反射鏡位于靠近壓縮光柵的場合。該設(shè)計允許在涂層損壞的情況下很容易地更換涂層。一個主動冷卻版本可用于連續(xù)激光器的功率高達(dá)30千瓦。

ISP機械式變形鏡（Md-AME）特點：

-最初的技術(shù)集中于激光技術(shù)人員的需求

-納米精度波前校正

-對激光束無網(wǎng)格效應(yīng)

-工作瞳孔：從?22mm到?800mm，圓形或方形，任何入射角

-低滯后 (< 0.1%)

-良好的線性度(>99%)

-尺寸范圍很廣，從22毫米到800毫米不等

-控制架

-通過LASQUA集團(tuán)提供自適應(yīng)光學(xué)回路

-與任何波前分析儀和波前校正軟件的接口

ISP機械式變形鏡（Md-AME）兼容性：

      -主動或被動冷卻

      -執(zhí)行器數(shù)量

      - Zernike模式動力學(xué)和可實現(xiàn)的階數(shù)

      - 孔徑大小和入射角

      - 控制策略

      - 環(huán)境兼容性（嵌入式、空間等）

      - 軟件環(huán)境（Windows、Linux 等）

      - 光學(xué)表面涂層（波長、損傷閾值、反射率……）

ISP機械式變形鏡（MD-AME Space）特點：

-空間應(yīng)用中的波前校正

-提高空間望遠(yuǎn)鏡成像質(zhì)量

-低滯后

-極低能耗

-低壓電源：24V

-低滯后（< 0.1%）

空間變形鏡（MD-AME Space）MD85-C-31-SPACE特點：

    -工作瞳孔：直徑 85 mm

-金屬涂層

-31個執(zhí)行器 (μ-AME12-Space)

- Zernike order 4

-尺寸?180 x 100mm（不包括連接器）

-重量 4kg

MIRISP機械式變形鏡（紅外激光應(yīng)用）特點：

-微力致動器校正的像差

-對激光束無網(wǎng)格效應(yīng)

-良好的線性度(<99%)

-高穩(wěn)定性，不含能量

-長期穩(wěn)定及不包括電力供應(yīng)

-滯后比壓電致動器低(＜0.1%)

-控制架

-工作瞳孔：橢圓形 40 x 57 mm

-鍍金 (R > 98% @ λ = 10 µm)

-傳導(dǎo)散熱2W

-25個執(zhí)行器

-Zernike ordre 3（不包括活塞）

-尺寸 W 150 x H 110 x D 180（不包括連接器）

-重量 5kg

ISP機械式變形鏡ILAO（強激光自適應(yīng)光學(xué)）特點：

-技術(shù)

-與ImageOptic合作開發(fā)

-高光學(xué)質(zhì)量的鏡面 (<10 nm rms)

-配備微力執(zhí)行器(AME)網(wǎng)絡(luò)：37個或52個執(zhí)行單元

-滯后比壓電致動器低(0.1%而不是10%)

-接觸表面力的均勻分布

-在鏡子上沒有摩擦力或指紋效應(yīng)

-長期穩(wěn)定性

-有多種型號，多種尺寸等。

ISP機械式變形鏡ILAO（強激光自適應(yīng)光學(xué)）規(guī)格：