技術(shù)參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | HR 10 |
| 軸承類型，止推 | 磁懸浮 |
| 軸承類型，徑向 | 多孔碳 |
| 馬達(dá)設(shè)計(jì) | 拖杯 |
| 小振蕩扭矩 (nN.m) | 5 |
| 小穩(wěn)態(tài)剪切扭矩 (nN.m) | 5 |
| 刪除/廣泛扭矩 (mN.m) | 200 |
| 扭矩分辨率 (nN.m) | 0.1 |
| 小頻率 (Hz) | 1.0E-07 |
| 刪除/廣泛頻率 (Hz) | 100 |
| 小角速度 [1] (rad/s) | 0 |
| 刪除/廣泛角速度 (rad/s) | 300 |
| 位移傳感器 | 光學(xué)編碼器 |
| 雙讀頭光學(xué)編碼器 | N/A |
| 位移分辨率 (nrad) | 10 |
| 應(yīng)變切換時(shí)間 [2] (ms) | 15 |
| 速率切換時(shí)間 [2] (ms) | 5 |
| 法向/軸向力傳感器 | FRT |
| 刪除/廣泛法向力 (N) | 50 |
| 法向力靈敏度 (N) | 0.01 |
| 法向力解析度 (mN) | 1 |
[1] 控制應(yīng)力模式下為零?？刂扑俾誓Ｊ饺Q于測(cè)量點(diǎn)持續(xù)時(shí)間和采樣時(shí)間
[2] 達(dá)到設(shè)定值 99% 時(shí)的結(jié)果。
儀器特性
| 真實(shí)位置傳感器 (TPS) | |
| 控制應(yīng)力（穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、振蕩） | |
| 控制應(yīng)變（穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、迭代振蕩） | |
| 使用 FRT 的法向力測(cè)量 | |
| One Touch Away Display | |
| 集成樣品照明 | |
| FastTrack | |
| 直接應(yīng)變（振蕩）（可選） | |
| 軸向和追蹤測(cè)試（可選） | |
| AutoPilot (optional) |
