松盛動態(tài)配氣裝置SSGM-3:儀器具有運行穩(wěn)定、結構緊湊、操作簡單、無易損件、維護成本低等特點,該設備主要包括機柜、高精度質量流量控制器、電磁閥、壓力傳感器、觸摸屏、CPU可編程控制單元、機械以及電氣配件等,出廠前均通過保壓測試,壓力不低于0.8Mpa,時間不低于2h,確保設備無泄漏。
松盛動態(tài)配氣裝置SSGM-3:以質量流量控制器控制氣體流量,混配稀釋所需之氣體濃度及流量,可多組分裝流量控制器。稀釋范圍從1-5000倍(可按需定制),流量輸出0.5-1000L/min,具有兩元或多元稀釋模式,可設備中自行選擇應用模式。裝置中采用高精度的熱式流量控制器,并經高精度流量計校準,流量偏差可控制在±0.5%以內,重復性小于±0.2%,稀釋設備的精度優(yōu)于±1%。