產(chǎn)品詳情
自動(dòng)配氣系統(tǒng)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制，配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體配氣的方法包括稱重法、分壓法、靜態(tài)容量法、流量比混合法、滲透法、擴(kuò)散法、體積比法等。該自動(dòng)配氣系統(tǒng)采用流量比混合法，是一種動(dòng)態(tài)配氣法，通過(guò)嚴(yán)格控制一定比例的組份氣體，并加以混合而制定標(biāo)準(zhǔn)氣體。與瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣相比，使用該方法能夠在同一配氣系統(tǒng)上，可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣，配制的目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度可達(dá)10-9級(jí)且連續(xù)可調(diào)；可稀釋范圍寬，可以達(dá)到1/2000；系統(tǒng)不受環(huán)境溫度與壓力變化影 , 可以適用于配制高、低濃度的多種目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體，甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體，具有很好的應(yīng)用價(jià)值；采用氣體質(zhì)量流量計(jì)控制每一路所需的原料氣體的流量，可以控制配制目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的總流量，實(shí)現(xiàn)連續(xù)配制并供給目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體，使用方便、靈敏度高、精度高。
傳感器特點(diǎn)
使用方便
靈敏度高
精度高
主要應(yīng)用
適用于配制高、低濃度的多種目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體，甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體，具有很好的應(yīng)用價(jià)值
技術(shù)指標(biāo)
| 流量規(guī)格（N2） | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | |
| 線性 | ±0.5% F.S. |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM |
| 0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格＞10SLM | |
| 溫度系數(shù) | 零點(diǎn)：≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1FS/℃ |
| 耐壓 | 3MPa ≤2sec |
| 漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
| 密封材料 | 氟橡膠; 金屬密封 |
| 工作環(huán)境溫度 | (5~45) ℃ |
