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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-02-11
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限6
  • 實名認證已認證
  • 產品數量107
  • 人氣值1560
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深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術開發(fā)、應用與貿易于一體的專業(yè)公司。產品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導體、科學研究、電力行業(yè)、航空航天、*制造等領域。作為多家的真空設備及真空儀器供應商的代理商,我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案,解決客戶真空應用的難題,并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產品如下:

瑞士Inficon (英??担?/span>膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。
美國Agilent(安捷倫,原瓦里安)渦旋式干泵、分子泵、氦質譜檢漏儀。
英國Edwards (愛德華)旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。
瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。   
日本Hitachi Metals(Aera)質量流量控制器。

美國MKS質量流量控制器。
美國SRS 四級質譜殘余氣體分析儀。

美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。

韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售

美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應氣體控制器。

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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀 產品詳情

干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界,

檢漏低達 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。

通過結合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結構,UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL(智能泄漏率計算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱,因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。

使用額外的 TC1000 測試盒配件,UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試,如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管(根據 MIL-STD 883,方法 1014)。


功能

  • 15 級的寬測量范圍
  • 較短的抽氣和響應時間
  • 移動式全金屬外殼,增加了便利性,具有可操作性
  • I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應時間
  • 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的測試結果
  • 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計,提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
  • 旋轉式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
  • 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
  • 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進行測試
  • 通過電子郵件進行軟件更新
  • 含兩個燈絲離子源(3 年質保)的耐用質譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
  • 內部校準用的內置測試漏孔確保了精確的測試結果

典型應用

  • 對半導體加工工具執(zhí)行維護作業(yè),無論是否具有自有泵支持
  • 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用
  • 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
  • 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
  • 內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

零件號

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號 明細
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

規(guī)格

類型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣(真空模式)可檢漏率 mbar?L/s <5E-12
氦氣(真空模式)可檢漏率 mbar?L/s <5E-12
氦氣(吸槍模式)可檢漏率 mbar?L/s 8E-8
GROSS 模式進氣口壓力 mbar 15
FINE 模式進氣口壓力 mbar 2
ULTRA 模式進氣口壓力 mbar 0.4
抽真空期間的抽氣能力 m3/h 25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力 L/s max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力 L/s 7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 L/s 2.5
可檢測質量數 2,3,4 amu
質譜儀扇形場 180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 2
內置校準漏孔 mbar?L/s e-7
測試端口 DN 25 KF 1
可調觸發(fā)器 2
接口 RS 232
圖形記錄器輸出 V 2 x10
輸入/輸出 PLC compatible
允許的環(huán)境溫度(操作過程中) °C +10.....+40
保護類型 IP 20
重量 kglb. 110
尺寸(長x寬x高) mmin. 1068x525x850
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
電源電壓 V (ac) 230 (+-10% )50Hz
功耗 VA 1100
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