干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
ULTRATEST™ 傳感器技術
穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界,
檢漏低達 10 -12 atm/css
The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設計用于滿足半導體應用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性,UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應。
通過結合較高氦氣抽氣能力和高進氣口壓力的真空結構,UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL(智能泄漏率計算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱,因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。
使用額外的 TC1000 測試盒配件,UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試,如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管(根據 MIL-STD 883,方法 1014)。
功能
- 15 級的寬測量范圍
- 較短的抽氣和響應時間
- 移動式全金屬外殼,增加了便利性,具有可操作性
- I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應時間
- 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的測試結果
- 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計,提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
- 旋轉式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
- 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
- 自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進行測試
- 通過電子郵件進行軟件更新
- 含兩個燈絲離子源(3 年質保)的耐用質譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護成本
- 內部校準用的內置測試漏孔確保了精確的測試結果
典型應用
- 對半導體加工工具執(zhí)行維護作業(yè),無論是否具有自有泵支持
- 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用
- 在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
- 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
- 內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試
零件號
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
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零件號 | 明細 |
550-100A | ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug |
550-101A | ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug |
規(guī)格
類型 | Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
---|---|---|
氦氣(真空模式)可檢漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
氦氣(真空模式)可檢漏率 | mbar?L/s | <5E-12 |
氦氣(吸槍模式)可檢漏率 | mbar?L/s | 8E-8 |
GROSS 模式進氣口壓力 | mbar | 15 |
FINE 模式進氣口壓力 | mbar | 2 |
ULTRA 模式進氣口壓力 | mbar | 0.4 |
抽真空期間的抽氣能力 | m3/h | 25 at 50 Hz |
GROSS 模式氦氣抽氣能力 | L/s | max. 8 |
FINE 模式氦氣抽氣能力 | L/s | 7 |
ULTRA 模式氦氣抽氣能力 | L/s | 2.5 |
可檢測質量數 | 2,3,4 amu | |
質譜儀扇形場 | 180° | |
燈絲離子源銥/氧化釔涂層 | 2 | |
內置校準漏孔 | mbar?L/s | e-7 |
測試端口 | DN 25 KF | 1 |
可調觸發(fā)器 | 2 | |
接口 | RS 232 | |
圖形記錄器輸出 | V | 2 x10 |
輸入/輸出 | PLC compatible | |
允許的環(huán)境溫度(操作過程中) | °C | +10.....+40 |
保護類型 | IP 20 | |
重量 | kglb. | 110 |
尺寸(長x寬x高) | mmin. | 1068x525x850 |
電源電壓 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
電源電壓 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
電源電壓 | V (ac) | 230 (+-10% )50Hz |
功耗 | VA | 1100 |