LCD系列表面清潔分析儀為美國(guó)科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測(cè)試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上，進(jìn)而分析Plasma效果，是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測(cè)試系統(tǒng)。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機(jī)和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個(gè)部分組成。根據(jù)樣品臺(tái)移動(dòng)方式不同，我們將儀器主機(jī)分為自動(dòng)（LCD
功能實(shí)現(xiàn)：
1、測(cè)試前：
（1）通過(guò)調(diào)整進(jìn)樣器前后、左右、上下移動(dòng)（XYZ）及鏡頭俯仰角度和升降（Z向），實(shí)現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
（2）通過(guò)控制導(dǎo)軌前后、左右移動(dòng)（XY），將注射泵移動(dòng)至角落后，以方便裝樣。
2、測(cè)試過(guò)程中：
（1）通過(guò)導(dǎo)軌前后、左右方向（XY）的移動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)樣品上不同點(diǎn)的水滴角度值的測(cè)試；
（2）通過(guò)移動(dòng)進(jìn)樣器升降移動(dòng)（Z向），完成液滴移液過(guò)程（將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上）；
（3）通過(guò)進(jìn)樣器注出液滴，進(jìn)行角度分析，精度可達(dá)0.02uL。
3、測(cè)試實(shí)現(xiàn)方法：
（1）通過(guò)相機(jī)捕捉液滴在液晶屏上的圖片后，分析敏感點(diǎn)，計(jì)算得出角度值；
（2）計(jì)算辦法：θ/2法（WH法）或圓擬合法；
（3）軟件對(duì)鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?，以期?shí)現(xiàn)更精確的測(cè)量。
功能實(shí)現(xiàn)：
1、測(cè)試前：
（1）通過(guò)調(diào)整進(jìn)樣器前后、左右、上下移動(dòng)（XYZ）及鏡頭俯仰角度和升降（Z向），實(shí)現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
（2）通過(guò)控制導(dǎo)軌前后、左右移動(dòng)（XY），將注射泵移動(dòng)至角落后，以方便裝樣。
2、測(cè)試過(guò)程中：
（1）通過(guò)導(dǎo)軌前后、左右方向（XY）的移動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)樣品上不同點(diǎn)的水滴角度值的測(cè)試；
（2）通過(guò)移動(dòng)進(jìn)樣器升降移動(dòng)（Z向），完成液滴移液過(guò)程（將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上）；
（3）通過(guò)進(jìn)樣器注出液滴，進(jìn)行角度分析，精度可達(dá)0.02uL。
3、測(cè)試實(shí)現(xiàn)方法：
（1）通過(guò)相機(jī)捕捉液滴在液晶屏上的圖片后，分析敏感點(diǎn)，計(jì)算得出角度值；
（2）計(jì)算辦法：θ/2法（WH法）或圓擬合法；
（3）軟件對(duì)鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?，以期?shí)現(xiàn)更精確的測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)：軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)
| | LCD | LCD | ||
| 相關(guān)型號(hào)主題詞 | 全自動(dòng)型 | 手動(dòng)型 | ||
| 主機(jī) | 主機(jī) | 概述 | 自動(dòng)控制樣品臺(tái) | 手動(dòng)控制樣品臺(tái) |
| 鏡頭水平X移動(dòng) | 自動(dòng)： 精度：0.01mm | 手動(dòng)： 精度： | ||
| 鏡頭水平Y移動(dòng) | 自動(dòng)： 精度：0.01mm | 手動(dòng)： 精度： | ||
| 鏡頭上下Z1移動(dòng) | 自動(dòng)： | 手動(dòng)： | ||
| 鏡頭傾斜調(diào)整 | 手動(dòng) | 手動(dòng) | ||
| 樣品臺(tái)水平 | 手動(dòng) 微調(diào) | 手動(dòng) 微調(diào) | ||
| 進(jìn)樣器控制XY | 手動(dòng) | 手動(dòng) | ||
| 進(jìn)樣器控制Z | 自動(dòng) | 手動(dòng) | ||
| 整機(jī)升降控制Z2 | 自動(dòng) | 手動(dòng) | ||
| 水平調(diào)整 | 手動(dòng)微調(diào)控制樣品臺(tái)水平 | |||
| 樣品臺(tái) | 600* | |||
| 進(jìn)樣器 | 自動(dòng)進(jìn)樣注射泵 | 手動(dòng)進(jìn)樣注射泵 | ||
| 進(jìn)樣器焦距調(diào)整：手動(dòng) | ||||
| 光學(xué)CCD成像系統(tǒng) | USB口視頻捕捉設(shè)備+25幀/秒工業(yè)黑白CCD相機(jī)+ 10-50倍連續(xù)放大工業(yè)鏡頭 | |||
| 光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整 | 一維水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu) | |||
| 光源系統(tǒng) | 可調(diào)亮度單色冷光LED光源，水滴角圖像邊緣更清晰 | |||
| 通訊接口 | 主機(jī)控制及視頻系統(tǒng)控制均采用USB2.0通訊接口，兼容性更好、速度更快 | |||
| 軟件 | 水滴角計(jì)算方式 | 全自動(dòng)計(jì)算 按“測(cè)試”，軟件自動(dòng)完成拍照、分析敏感點(diǎn)、計(jì)算水滴角值三個(gè)動(dòng)作 | ||
| 水滴角計(jì)算辦法 | 共6種：提供θ/2法、真實(shí)液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法，全面適用于分析動(dòng)/靜態(tài)水滴角值 | |||
| 液滴形態(tài) | 5種分析液滴形態(tài)：停滴（2、3態(tài)）、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法，多種液滴形態(tài)均可適用 | |||
| 隨時(shí)間變化水滴角測(cè)試 | 25幀/秒隨時(shí)間變化水滴角測(cè)試，提供軟件觸發(fā)技術(shù) | |||
| 動(dòng)態(tài)水滴角分析 | 前進(jìn)角/后退角分析 | |||
| 表面自由能估算 | 提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法，不但能分析低能固體表面，也能分析高能固體表面，以及他們的分布（色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等）。 | |||
| 粘附功計(jì)算 | 軟件自動(dòng)分析 | |||
| → 自動(dòng)曲面修正：上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正； | ||||
| → 自動(dòng)水滴角值計(jì)算（θ/2 法）和人工計(jì)算水滴角值法切換 | ||||
| → 左右水滴角值計(jì)算與比較，平均水滴角計(jì)算 | ||||
| → 水平及俯仰角度，任意角度值修正功能 | ||||
| → 自動(dòng)生成曲線圖 | ||||
| → 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫(kù)管理功能：備份、壓縮、導(dǎo)出EXCEL表格 | ||||
| → 自動(dòng)液滴量估算 | ||||
美國(guó)科諾工業(yè)有限公司特別聲明：
1、以上圖片資料以及技術(shù)參數(shù)因設(shè)計(jì)而進(jìn)行的更改，不再另行通知，以確認(rèn)的產(chǎn)品資料為準(zhǔn)?！ ?/span>
2、如需詳細(xì)水滴角分析技術(shù)的資料和水滴角測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，請(qǐng)聯(lián)系我們的技術(shù)工程師。
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