Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從 10Torr 到1000Torr。測量單位可以是 Torr,mbar/hpa,kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是 15VDC,輸出 0~10VDC或 0~5VDC,輸出與壓力成線性關系,而且與氣體成分無關。
電氣連接件可以是工業(yè)標準 15 針 D 型插座或 6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和 ESD 抑制元件以及輸入輸出的 RFI 過濾等技術,Model 760 具有出眾的 EMI/RFI 性能。 Model 760 有一個完整的滑面,很容易提供有精確的零點調節(jié)和量程調節(jié)的多匝電位計。Inconel? 材質適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體,另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。
Model 760 中高精度的壓力傳感元件 VactronTM pressure sensor,是在 Setra 技術可變電容傳感技術基礎上發(fā)展來的。在敏感元件有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內組成了一個可變電容。這一電容的變化被 Setra的集成電路檢測并被轉換成高精度的線性直流信號,該集成電路是根據西特技術負荷平衡原理設計的。
Model 760 采用革新的傳感設計獲得了出色的零點穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了與陶瓷式結構相似的電容式壓力計。
■ 出眾的 EMI/RFI 性能
■ 耐腐蝕的 Inconel 設計
■ 出色的熱穩(wěn)定性
特性
· 高精度:標準 ±0.25% of Reading ,可選 ±0.15%
· 小巧緊湊的結構
· 多種壓力連接和電氣連接方式
· 符合 CE 標準
應用
· 半導體過程工具和設備 · 實驗室和研究開發(fā) · 實驗和測量 · 度量 · 分析化學系統(tǒng)
注:Setra 堅持嚴格的質量標準 ANSI-Z540-1。此產品的標定源于 NIST。