KEYSIGHT吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表
關(guān)鍵詞：靜電計(jì)，高阻表，電荷，電阻率，電阻
KEYSIGHT吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表提供的精度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類型儀表。它還具有完備的功能，使測量高阻和絕緣材料電阻率變得簡單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測試速率，比同類型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡易的弱電流測量能力測量弱電流。出眾的性能指標(biāo)半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測量的輸入阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、測量范圍寬
6517B主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、非常適合物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量。
2、其極低的電壓降非常適合太陽能電池測量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈敏度使之成為基于聚合物的納米線等高阻測量的出眾解決方案。
3、其高速和易用性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn)測試（包括漏流、擊穿和電阻測試）應(yīng)用的選擇。
4、利用6517B型靜電計(jì)/高阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進(jìn)對絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。
5、還非常適合電化學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測量、電導(dǎo)電池和電勢測定。
6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿
量程及主要技術(shù)參數(shù)：
• 電流測量范圍：1fA - 20mA
• 電壓測量范圍：10μV - 200V
• 電阻測量范圍：50Ω - 1016Ω
• 電荷測量范圍：10fC - 2μC
• 電阻測量可達(dá)1016 Ω
• 電流測量范圍1fA - 20mA
• 最小電流量程輸入端壓降<20µV
• 200TΩ 輸入阻抗
• <3fA 偏置電流
• 測試速率高達(dá) 425 rdgs/s
• 噪聲0.75fA p-p
• 內(nèi)置±1kV電壓源
• 高電阻測量電壓反接方法
• 可選的插件式掃描卡
改進(jìn)的高靈敏度測量
許多測試應(yīng)用要求測量高級別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測
量方法是對樣本施加足夠高的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V
/I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測量，但利用
吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測量。
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即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測量較為
困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通
常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。
在這些情況下，其測量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率
讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利 6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題，
并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測量，特別是與8009型電
阻測試夾具一起使用時(shí)。
變換極性法
6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電
流。并剔除背景電流的級和第二級漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性
電壓，然后在延遲（測量時(shí)間）后測量電流。接著，改變電壓極性，
使用相同的延遲，重新測量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過程，并根據(jù)4個(gè)電
流測量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對大多數(shù)材料來說，通過7次反轉(zhuǎn)(即
舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻
率）測量結(jié)果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復(fù)度，可對1mm厚
的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測量，在15秒測試周期內(nèi)其背景電流低于200fA
