技術(shù)參數(shù):
1 能量范圍:50 eV ~ 5 keV;
2 離子槍工作距離:25 mm ~ 100 mm;
3 離子束偏轉(zhuǎn)角度:±1o @ 5 keV;
4 離子槍束流:1 nA ~ 2 μA ;
5 束斑尺寸:1 mm ~ 20 mm;
6 離子種類:Cs+,Li+,Na+,K+ ,Rb+;
7 計(jì)算機(jī)/遠(yuǎn)程控制能力:通過50針D-sub/RS-232接口;
8 能量分布:約 0.4 eV;
9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍:1 µs ~ DC,重復(fù)頻率可到1 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調(diào)制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
11 法拉第杯;(Option)