利用優(yōu)異保溫效果的坩堝實(shí)現(xiàn)有機(jī)物材料的穩(wěn)定蒸發(fā),同時(shí)借助超高精度的石英晶振達(dá)到蒸發(fā)速率的確控制,矽碁科技可提供性能穩(wěn)定的有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜機(jī),主要用于有機(jī)物材料驗(yàn)證,OELD器件鍍膜機(jī),OPV器件鍍膜機(jī),有機(jī)CMOS鍍膜機(jī)等。
技術(shù)參數(shù):
1 本底真空10-7 Torr;
2 電極蒸發(fā)束源爐,金屬坩堝,金屬電極式蒸發(fā)舟等;
3 IC6-光學(xué)鍍膜等級石英晶振測量膜厚;
4 與手套箱連接
5 Mask對準(zhǔn)功能,機(jī)械對準(zhǔn)或者CCD對準(zhǔn)