一、產(chǎn)品介紹

Thermo Scientific™Verios™ XHR SEM掃描電子顯微鏡（SEM）旨在提高您實(shí)驗(yàn)室的可發(fā)布結(jié)果。Verios SEM通過將整個(gè)1 keV至30 keV能量范圍內(nèi)的亞納米分辨率擴(kuò)展到新型材料，例如催化劑顆粒，納米管，孔隙，界面，生物物體和其他納米級(jí)結(jié)構(gòu)，從而提供了新的見解。無需過渡到TEM或其他成像技術(shù)即可獲得高分辨率，高對比度的圖像。Verios SEM提供了研究應(yīng)用所需的靈活性，可容納大型樣品，例如整片晶圓或冶金樣品。Verios SEM可在1至30 kV能量范圍內(nèi)以亞納米級(jí)分辨率提供精確的成像。它提供了在各種應(yīng)用中對材料進(jìn)行精確測量所需的出色對比度，而又不影響傳統(tǒng)SEM的高通量，分析能力，樣品靈活性和易用性。Verios SEM具有的技術(shù)，例如用于提高熱穩(wěn)定性的定焦鏡和用于更高偏轉(zhuǎn)線性的靜電掃描。在選擇參數(shù)，處理大型樣品或支持其他應(yīng)用程序（例如分析或光刻）時(shí)，它非常靈活。利用Verios XHR SEM，偶爾的用戶和專家都可以在最短的時(shí)間內(nèi)訪問準(zhǔn)確而完整的納米級(jí)數(shù)據(jù)。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

廣泛的應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科領(lǐng)域。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 使用Elstar™單色儀以及優(yōu)化的光學(xué)器件和檢測功能，可以在您的樣品要求的操作條件下獲得準(zhǔn)確，真實(shí)的納米級(jí)信息：對于非導(dǎo)電樣品，其值為500 eV及以下；對于光束敏感樣品，則為低劑量操作。
2. 收集完整的納米級(jí)信息：得益于Elstar的四重SE / BSE檢測和過濾功能，地形和材料形成了對比，得益于我們的多段STEM技術(shù)，在結(jié)構(gòu)上形成對比。
3. 使用Elstar的精確靜電束偏轉(zhuǎn)和*的校準(zhǔn)方法，可以依靠遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出普通SEM的精確計(jì)量。
4. 體驗(yàn)快速，精確的樣品管理：容納大型樣品，可控地清潔樣品表面，以極低的放大倍數(shù)快速檢查并導(dǎo)航到感興趣的區(qū)域。
5. 使用電子束光刻技術(shù)，電子束誘導(dǎo)的材料直接沉積，執(zhí)行創(chuàng)新且精確的納米加工，并在上下或傾斜位置檢查創(chuàng)建的3D結(jié)構(gòu)。
6. 發(fā)現(xiàn)一個(gè)針對簡單用戶而優(yōu)化的平臺(tái)，它具有簡單而強(qiáng)大的界面，以及可以依靠儀器的靈活性和擴(kuò)展控件來針對特定實(shí)驗(yàn)精確調(diào)整儀器的SEM專家。