微小氣體質(zhì)量流量計SCMFM
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償。
微小氣體質(zhì)量流量計SCMFM 技術(shù)參數(shù)：
2.1 測量介質(zhì)：各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
2.2 流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：
a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
c) 每個口徑量程范圍均可擴(kuò)大
d)特殊需要可單獨(dú)標(biāo)定
2.3 流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。
的工作原理：
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當(dāng)傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃)，在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
式中：氣體流動方向?yàn)閤，速度為v，a為擴(kuò)散率。
如上圖(式)所示，當(dāng)氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
