貨號 | 型號 | X1軸測量范圍mm | 花崗巖基座尺寸（WxD） | 尺寸（主機、WxDxH） | 重量（主機） | 備注 | Z2軸垂直行程mm | Y軸工作臺裝置 | α軸裝置 |
218-521-1 | CV-3000CNC | 200 | 750X600mm | 800X620X1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | ||
218-521-2 | CV-3000CNC | 200 | 750X600mm | 800X620X1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | ||
218-522-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安裝 | |
218-522-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安裝 | |
218-523-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安裝 | 已安裝 |
218-523-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安裝 | |
218-524-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安裝 | 已安裝 |
218-524-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安裝 | 已安裝 |
218-541-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | ||
218-541-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | ||
218-542-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安裝 | |
218-542-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安裝 | |
218-543-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安裝 | |
218-543-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安裝 | |
218-544-1 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安裝 | 已安裝 |
218-544-2 | CV-3000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安裝 | 已安裝 |
218-561-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | ||
218-561-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | ||
218-562-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安裝 | |
218-562-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安裝 | |
218-563-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安裝 | |
218-563-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安裝 | |
218-564-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 100V-120V | 300 | 已安裝 | 已安裝 |
218-564-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1000mm | 240kg | 200V-240V | 300 | 已安裝 | 已安裝 |
218-581-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | ||
218-581-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | ||
218-582-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安裝 | |
218-582-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安裝 | |
218-583-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安裝 | |
218-583-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安裝 | |
218-584-1 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 100V-120V | 500 | 已安裝 | 已安裝 |
218-584-2 | CV-4000CNC | 200 | 750x600mm | 800x620x1200mm | 250kg | 200V-240V | 500 | 已安裝 | 已安裝 |
技術參數
X1 軸
測量范圍: 200mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 小于 200mm/s (CNC)
0 - 50mm/s (操縱桿)
測量速度: 0.02 - 2mm/s
移動方向: 向前／向后
直線度: 2μm/200mm
* 當X 軸在水平方向上
指示精度: ±(1+4L/200)μm,
(20° C 時) * L 為驅動長度(mm)
a 軸
傾斜角度: -45° 至 +10°
分辨率: 0.000225°
旋轉速度: 1rpm
Z2 軸(立柱)
垂直行程: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 小于200mm/s (CNC)
0 - 50mm/s (操縱桿)
Z1 軸 (檢測器)
測量范圍: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),
0.05μm (CV-4000CNC)
檢測方法: 線性編碼器(CV-3000CNC),
激光全息測微計 (CV-40100CNC)
指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)
(20° C 時) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)
*H 為水平位置上的測量高度 (mm)
測針上／下運作: 弧形運動
測針方向: 向上／向下
測力: 30mN
跟蹤角度: 向上： 70°、向下：70°
(根據表面粗糙度，使用標準單切面測針)
測針針尖 半徑：25μm、硬質合金針尖
基座尺寸(W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花崗巖
重量: 240kg, 250kg (高立柱類型)
電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主機)
選件
防震臺架
防震臺裝置: 膜片空氣彈簧
自然頻率 : 2.5-3.5Hz
減震機構 : 阻尼孔
調水平裝置 : 帶機械閥的自動控制裝置
氣源氣壓 : 390kPa
承載: 350kg
尺寸 (W x D x H) : 1000 x 895 x 715mm
重量: 280kg
Y 軸工作臺裝置
測量范圍: 200mm
讀數: 0.05μm
標尺裝置: 反射型線性編碼器
驅動速度: 200mm/s (CNC)
0 - 50mm/s (操縱桿)
承載能力: 20 kg
直線度: 0.5μm/200mm (表面粗糙度)
2μm/200mm (輪廓)
指示精度 (20° C 時) : ± (2+2L/100) μm, 輪廓模式 L 為兩個
測量點之間的距離 (mm)
工作臺尺寸: 200 x 200mm
尺寸 (W x D x H): 320 x 646 x 105mm
重量: 35kg
*產品信息僅供參考，型號和技術參數生產廠家有可能隨時更改
