? M3030V(2022)氣體質(zhì)量流量控制器,是M3030V(2003)氣體質(zhì)量流量控制器的升級(jí)型號(hào),它縮小了PCB的尺寸,更換新的傳感器(SENSOR).提升了穩(wěn)定性.
M3030氣體質(zhì)量流量控制器,是韓國LineTech于2003年研發(fā)出來的一款模擬式(電子信號(hào)控制方式為Analog Type)氣體質(zhì)量流量控制器。是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與電腦連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置,能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有輕微的變化,也不會(huì)影響其正常的工作。原則上不需要溫度和壓力補(bǔ)償。
M3030系列模擬式氣體質(zhì)量流量控制器可以將氣體流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)(輸入輸出信號(hào)為 0-5V 或 4-20mA)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示、累計(jì)流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄、電腦管理等,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。所以,我們根據(jù)輸入輸出信號(hào)的不同,把它劃分為M3030V和M3030A兩個(gè)規(guī)格。
M3030系列有很寬的工作壓力范圍,產(chǎn)品可以從真空直到9MP;以使用多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如、三氯化硼、、氟化氫等等);有很寬的流量范圍,產(chǎn)品Min流量范圍可達(dá) 0~10sccm ,Max流量范圍可達(dá) 0~30slpm 。流量控制范圍3~99%F.S(滿量程)
原產(chǎn)地: | 韓國 () |
商品名稱:氣體質(zhì)量流量控制器 型號(hào):M3030V 模擬氣體質(zhì)量流量控制器 量程范圍(N2):0.01~30slpm Min流量:0.3-10 sccm Max流量:0.9-30 slpm SCCM單位:標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘 SLPM單位:標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘 精確度:±1% of FS 重復(fù)性:±0.25% 輸入輸出信號(hào):0-5Vdc 供電:+15~+24Vdc,350mA 工作壓力:<90Bar 工作溫度范圍:0~50℃ 漏率:1×10-9atm.cc/sec 控制量程:3~99% 通訊:無 | |
產(chǎn)品特點(diǎn): | 尺 寸 圖 |
? 高精度質(zhì)量流量測(cè)量 ? 可靠的質(zhì)量流量輸送 ? 精度高±1%FS ? 響應(yīng)時(shí)間<2秒 ? 一致的可重復(fù)性0.25% ? 緊湊型流量控制系統(tǒng) ? 相對(duì)不受來流溫度和壓力波動(dòng)的影響 |
提供常見選型參數(shù):
型 號(hào) | 電壓信號(hào) | 電流信號(hào) | 氣體類型 | 流量范圍 | 供 電 | 工作壓力 | 密封材質(zhì) |
M3030 | V | A | 0~10 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | |
V | A | 0~20 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~30 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~50 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~100 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~200 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~300 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~500 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~1000 sccm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~2 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~3 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~5 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~10 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~15 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~20 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 | ||
V | A | 0~30 slpm | +15~24Vdc可選 | <90Bar壓差>0.5Bar | 廠家選配 |