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二次離子質(zhì)譜工作站

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The Hiden SIMS Workstation provides for high performance static and dynamic SIMS applications for detailed surface composition analysis and depth profiling.
二次離子質(zhì)譜工作站 產(chǎn)品詳情

SIMS 工作站(SIMS Workstationa complete SIMS Analysis Facility) ,綜合UHV / SIMS 設(shè)備,進(jìn)行高級(jí)的表面分析??煽康摹⑵毡檫m用的SIMS分析工作站。

 

·整合的離子源,便于RGASNMS

·各類(lèi)型樣品的快速轉(zhuǎn)向

·陰、陽(yáng)離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀

·整合的離子槍光柵控制和信號(hào)選通,進(jìn)行深度分析
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·液氮冷井和真空室烘烤加熱器
·自動(dòng)的SIMS 離子光學(xué)透鏡調(diào)諧和質(zhì)量數(shù)列表,使SIMS性能

 

·Hiden EQS SIMS 分析儀,運(yùn)行于 MASsoft O/S 之下,檢測(cè)限至ppb級(jí)

·基本的激發(fā)源選擇: 帶差式泵的Hiden IG20 Ion,IFG200 FAB或高性能液態(tài)鎵槍
·快速樣品傳遞,樣品固定,負(fù)載鎖定的操縱器
·4 軸:X, Y, Z, θ UHV 操縱器,以定位樣品
·加上ESM LabVIEWSIMS 成像程序,進(jìn)行SIMS元素成像
·靜態(tài)SIMS譜圖庫(kù)可用

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

SIMS Brochure TI 181 (670 KB)

SIMS Brochure TI 181 HiRes (5.64 MB)

Tour of the Hiden SIMS Workstation (6.22 MB)

Instruments for diagnostics and analysis of thin films

Analysis of Metal-Polymer Interfaces in Thin Film Capacitors by Dynamic Quadrupole SIMS (380 KB)

Analysis of MOCVD-Grown GaInP/Ga(ln)As/Ge Triple Junction Solar Cells by SIMS (182 KB)

Combined SIMS SNMS Poster (1.08 MB)

High Performance SIMS - Mass and Energy Analyser for SIMS - A2 (584 KB)

High Performance SIMS - Mass and Energy Analyser for SIMS - A3 (339 KB)

Simultaneous SIMS and Electron Impact SNMS (347 KB)

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