FS4000微型氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,適用于各類清潔氣體。的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
FS4000系列氣體流量計(jì)是采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù),專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍*到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍*到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而設(shè)計(jì)
- 支持多種連接方式,易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活,既可通過(guò)通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過(guò)模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快