日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器是上初次采用了冷却检测方式的流量传感器。
日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器产品简介：
搭载有上初次采用了冷却检测方式的流量传感器
日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器产品特点：
通过采用数字回路，实现了高精度、高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精细流体控制。
超洁净类型
日本Horiba STEC LF/LV微小液体质量流量计/控制器技术参数：
名称质量流量计型号LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | ||
检测控制范围 | 5??99% F.S. | ||||||
对象液体种类 *1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||||
液体粘度 *2 | 很大值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||||
直线性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||||
重复性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||||
响应精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | |||||
使用环境温度 *4 | 5??50℃ (15 ?? 45℃精度的确保) | ||||||
温度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ 很大值±1% | ||||||
工作差压值值 *5 | 很大值. 5MPa (视为流量计) / 50??300kPa (with piezo 控制阀) | ||||||
耐压 | 10MPa (视为流量计) | ||||||
压力損失 | 很大值. 500Pa | ||||||
流量设定信号 | 模拟：0.25??5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||||
流量输出信号 | 模拟：0??5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | ||||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||||
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||||
接液部材质 | SUS316L, Ni | ||||||
标准接头 | 1/16”， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 | ||||
名称质量流量控制器型号LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | |||
检测控制范围 | 5??99% F.S. | |||||||
对象液体种类 *1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | |||||||
液体粘度 *2 | 很大值. 0.01 Pa·s (10cp) | |||||||
精度 *3 | ±1% F.S. | |||||||
直线性 *3 | ±0.5% F.S. | |||||||
重复性 *3 | ±0.5% F.S. | |||||||
响应精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) | ||||||
使用环境温度 *4 | 5??50℃ (15 ?? 45℃精度的确保) | |||||||
温度影响Span | ±0.1%F.S./℃ 很大值±1% | |||||||
工作差压值 *5 | 0.05??0.3MPa | |||||||
耐压 | 1MPa | |||||||
压力损失 | ー | |||||||
流量设定信号 | 模拟：0.25??5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | |||||||
流量输出信号 | 模拟：0??5 VDC(很小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) | |||||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | |||||||
外部泄漏规格 | PO 类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa•m3/s (He) | |||||||
接液部材质 | PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 类型： SUS316L，Ni | |||||||
标准接头 | 1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/8 SWL类型， 1/8”VCR 类型 | 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 | |||||
*1：LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先所使用 的液体。)
不能检测含有固体物的液体。
如果混合液中混合比会发生变化时，请预*行咨询协商。
LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2：LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到较大值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预*行咨询协商。
*3：以SEMI E56-1296 为准。
*4：进行测量??控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内;如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa??s中的F.S.流量值。
