標稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動力學研究試驗中，要求安裝尺寸小，不擾動流場，動態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動態(tài)壓力分布測量而設(shè)計的。應(yīng)用于如發(fā)動機進氣道壓力畸變、喘振等的空氣動力學性能測定。
CYG503的壓力敏感元件采用的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。的微型化的壓力敏感芯片采用無應(yīng)力封裝技術(shù)，密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細管中。絕壓型傳感器參考壓力腔是芯片背面密封的真空腔，表壓型傳感器的參考壓力腔是通過一根更細的不銹鋼毛細管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。
CYG503A絕壓型微型壓力傳感器為探針形，標準外徑為Ф3.5mm，長度為18mm，特制的短柱形CYG503AS將長度縮短為12mm。可選量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。
CYG503G表壓型微型壓力傳感器為探針形、標準外徑為Ф3.5mm，長度為18mm，背壓引出毛細管長為12mm?？蛇x量程為160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表壓力。
CYG503的設(shè)計制作已獲得國家發(fā)明、號為：.3。
CYG504微型螺栓安裝型壓力傳感器是為方便一些用戶使用要求的CYG503的衍生品種，絕壓、表壓均可。它的外形尺寸見附圖。
CYG503、504型傳感器由于用敏感元件正面承壓，因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。但它有相當寬的工作溫區(qū)和非常好的動態(tài)頻響?？墒褂玫膭討B(tài)頻響低至零頻、高至數(shù)十千赫茲。表面增加涂復(fù)保護可改善介質(zhì)適用能力，但以犧牲頻響特性為代價。
1、性能指標參數(shù)
| 指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復(fù)性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流：1.5mA（表壓型）1mA（絕壓型）（恒流源）
5、工作溫度范圍：-55℃～+120℃
6、補償溫度范圍：-10℃～+80℃
7、過載能力： 額定量程的200%
8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸圖：
