系統(tǒng)依據(jù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):
GBT 18994-2014 電子工業(yè)用氣體 高純氯
檢測項目一: HCL中雜質(zhì)H2、O2、N2、CH4、CO、CO2
色譜分離系統(tǒng)
進(jìn)樣與反吹系統(tǒng): 吹掃十通閥2只; 吹掃六通閥1只;
閥體選:采用Hastelloy C哈氏鎳合金材質(zhì)
氣路管線: 1/16或1/8采用Hastelloy C哈氏鎳合金材質(zhì)
儀器的性能
嵌入式32位處理器及多CPU系統(tǒng)開發(fā),IT接口相關(guān)技術(shù),實現(xiàn)溫度參數(shù)自動設(shè)置、檢測器選擇、檢測器操作參數(shù)和數(shù)據(jù)化自動調(diào)零功能、靈敏度和極性數(shù)字化設(shè)置。全中文菜單操作界面,同時可顯示多組參數(shù),操作非常簡單方便。計算機反控功能,可以通過計算機操作儀器內(nèi)部所有功能(通過USB接口實現(xiàn))。
無需外接工作站并提供模擬輸出接口。
柱溫箱:
◆溫度范圍:室溫加5℃- 400℃
◆控制精度:±0.1℃
◆程序升溫:9階
◆升溫速率:60℃/min
◆雙通道色譜柱流失補償
外置式單氣路恒溫柱箱:
◆單氣路,箱爐可獨立控溫與恒溫;
◆加熱塊與柱爐體采用可分離與嵌入式技術(shù);安裝與拆卸實用方便;
◆爐體與外箱盒設(shè)計分體, 安裝色譜柱, 分離與嵌入加熱塊,填裝保溫棉材等都人性化設(shè)計.
氣體種類 | 需分析特氣的雜質(zhì)種類 | |||||||
He | H2 /HID | O2+Ar /HID | N2 /HID | CH4 /HID | CO /HID | CO2 /HID | C2 /FID |
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儀器的最小 檢測限(PPb) | 10 | 5 | 5 | 5 | 15 | 5 | 20 |
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