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從便攜式質(zhì)譜分析儀到大型粒子加速器，捕獲泵送技術(shù)可為多種應(yīng)用創(chuàng)建高真空 (HV)和超高真空 (UHV) 環(huán)境。
它們能以經(jīng)濟(jì)的成本創(chuàng)建盡可能低的真空。Edwards 通過 Gamma Vacuum 提供一系列離子泵、鈦升華泵、非蒸散型吸氣劑泵和附件。
離子泵
離子泵也稱為濺射離子泵或離子吸氣劑泵，屬于俘獲型泵，這種泵使用陽極/陰極陣列將氣體離子化。 離子會
濺射活性陰極材料，導(dǎo)致化學(xué)反應(yīng)，將離子化氣體轉(zhuǎn)變?yōu)楣腆w化合物。 這些化合物不會再在真空系統(tǒng)中形成
壓力，而是被捕獲在離子泵內(nèi)。離子泵的工作壓力范圍為 10-5 至 10-12 mbar，可處理 0.2 至 1,200 l/s 的氮氣。鈦升華泵
TSP 的工作原理是加熱鈦絲并將鈦分子升華（從固相到氣相的轉(zhuǎn)化）到某個表面上。升華的鈦分子隨后可用
于與活性氣體（如氧氣和氮氣）發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并分離和擴(kuò)散出氫。 TSP 的工作壓力范圍為 10-5 至 10-12
mbar， 氫氣抽取速度超過10,000 l/s。非蒸散型吸氣劑泵
NEG 是被壓到固態(tài)基板上或燒結(jié)成盤狀的活性金屬。 已發(fā)現(xiàn)鋯、釩和鐵的特定組合適合 HV 和UHV環(huán)境。
使用的材料量控制NEG泵的速度和容量，但范圍一般為50至3,500 l/s 的氫。當(dāng) NEG 與氣體飽和時，它
們可以再活化而不向大氣中排放廢氣。
