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ComBond-自動(dòng)化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值438
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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應(yīng)用:高真空晶圓鍵合平臺(tái)促進(jìn)“任何物上的任何東西”的共價(jià)鍵合一、簡(jiǎn)介EVGComBond高真空晶圓鍵合平臺(tái)(晶圓鍵合機(jī))標(biāo)志著EVG的晶圓鍵合設(shè)備和技術(shù)產(chǎn)品組合中的一個(gè)新里程碑,可滿足市場(chǎng)對(duì)更復(fù)雜的集成工藝的需求
ComBond-自動(dòng)化的高真空晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)) 產(chǎn)品詳情

應(yīng)用:高真空晶圓鍵合平臺(tái)促進(jìn)“任何物上的任何東西”的共價(jià)鍵合

一、簡(jiǎn)介

EVG ComBond高真空晶圓鍵合平臺(tái)晶圓鍵合機(jī)標(biāo)志著EVG的晶圓鍵合設(shè)備和技術(shù)產(chǎn)品組合中的一個(gè)新里程碑,可滿足市場(chǎng)對(duì)更復(fù)雜的集成工藝的需求。EVG ComBond支持的應(yīng)用領(lǐng)域包括*的工程襯底,堆疊的太陽能電池和功率器件到MEMS封裝,高性能邏輯和“beyond CMOS”器件。EVG ComBond系統(tǒng)的模塊化集群設(shè)計(jì)提供了高度靈活的平臺(tái),可以針對(duì)研發(fā)和高通量,大批量制造環(huán)境中的各種苛刻的客戶需求量身定制。EVG ComBond晶圓鍵合機(jī)促進(jìn)了具有不同晶格常數(shù)和熱膨脹系數(shù)(CTE)的異質(zhì)材料的鍵合,并通過其的氧化物去除工藝促進(jìn)了導(dǎo)電鍵界面的形成。EVG ComBond晶圓鍵合機(jī)高真空技術(shù)還可以實(shí)現(xiàn)鋁等金屬的低溫鍵合,這些金屬在周圍環(huán)境中會(huì)迅速重新氧化。對(duì)于所有材料組合,都可以實(shí)現(xiàn)無空隙和無顆粒的鍵合界面以及出色的鍵合強(qiáng)度。

二、特征

  • 高真空,對(duì)準(zhǔn),共價(jià)鍵合
  • 在高真空環(huán)境(<5·10 -8 mbar)中進(jìn)行處理
  • 原位亞微米面對(duì)面對(duì)準(zhǔn)精度
  • 高真空MEMS和光學(xué)器件封裝原位表面和原生氧化物去除
  • 優(yōu)異的表面性能
  • 導(dǎo)電鍵合
  • 室溫過程
  • 多種材料組合,包括金屬(鋁)
  • 無應(yīng)力鍵合界面
  • 高鍵合強(qiáng)度
  • 用于HVM和R&D的模塊化系統(tǒng)
  • 多達(dá)六個(gè)模塊的靈活配置
  • 基板尺寸為200毫米
  • *自動(dòng)化

三、技術(shù)數(shù)據(jù)

  • 真空度

處理:<7E-8 mbar

處理:<5E-8毫巴

  • 集群配置

處理模塊:最小3個(gè),6個(gè)

加載:手動(dòng),卡帶,EFEM

  • 可選的過程模塊:

晶圓鍵合機(jī)鍵合模塊

ComBond ®激活模塊(CAM)

晶圓鍵合機(jī)烘烤模塊

真空對(duì)準(zhǔn)模塊(VAM)

  • 晶圓直徑高達(dá)200毫米


關(guān)鍵詞:CAM
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