1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
PhaseCam 6110高分辨率類(lèi)型激光干涉儀是PhaseCam6000系列激光干涉儀的另一種型號(hào),有助于提高大孔徑光學(xué)元件表面測(cè)量的分辨率,適用于數(shù)字處理和高分辨率系統(tǒng)調(diào)整。
PhaseCam 6110干涉儀采用分離光源和干涉儀的設(shè)計(jì),主體尺寸小。它還配備了特殊的調(diào)節(jié)架,易于安裝和定位,并且便于進(jìn)行五維調(diào)節(jié),是測(cè)量焦距準(zhǔn)直儀,低溫光學(xué)真空實(shí)驗(yàn)等的理想儀器。PhaseCam 6110略大于PhaseCam 6010,并且具有更好的可維護(hù)性。
2. 基本屬性
系統(tǒng)描述:對(duì)振動(dòng)不敏感的Tiemann Green型動(dòng)態(tài)相移激光干涉儀
采集方式:瞬時(shí)相移型帶相位相關(guān)檢測(cè)器
核芯技術(shù):相移干擾技術(shù)(PSI)
光源:穩(wěn)定頻率HeNe@632.8nm;可選波長(zhǎng)1550nm
相干長(zhǎng)度:> 100m
光束直徑:7mm
極化:圓極化
相機(jī)像素:2000×2000像素,12位
尺寸:測(cè)量頭:<38.9 x 15.7 x 9.1厘米
激光:48.3 x 20.3 x 11.9厘米
采集速率:> 10幀/秒(實(shí)時(shí)顯示)
> 15幀/秒(后處理)
zui小曝光時(shí)間:35微秒
樣品反射率:1-100%(無(wú)衰減)
RMS重復(fù)性:<0.001wave *
RMS精度:<0.002wave **
* 10個(gè)數(shù)據(jù)的RMS值的1σ方差用作結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均值
**使用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均值;這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值用作參考值;每個(gè)數(shù)據(jù)與參考值之間的差用于計(jì)算RMS平均值作為結(jié)果
4. 配置選項(xiàng)
擴(kuò)束鏡:Φ50mm,Φ100mm,Φ300mm
球面擴(kuò)束鏡:F / 1至F / 32;可以定制
