PEG100 中真空至超高真空真空計(jì)
INFICON PEG100潘寧規(guī)可提供可靠的高真空測(cè)量。 堅(jiān)固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會(huì)出現(xiàn)燈絲燒毀的現(xiàn)象。 由于采用鈦陰極板且等離子點(diǎn)火后高電壓將會(huì)降低,真空計(jì)還可在濺射應(yīng)用環(huán)境下運(yùn)行。 現(xiàn)場(chǎng)總線選件,除了對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)外,允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協(xié)議將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中。
益處
- 測(cè)量范圍廣,從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
- 全金屬冷陰極傳感器(潘寧),帶陶瓷饋入裝置
- **的電極幾何形狀提供**的點(diǎn)火屬性
- 等離子點(diǎn)火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險(xiǎn),即使在有氬氣的濺射運(yùn)行中
- 陽(yáng)極環(huán)和鈦陰極可輕松進(jìn)行清潔或更換
- *小化真空計(jì)附近的磁場(chǎng)強(qiáng)度
- 用于電源接通和等離子體點(diǎn)火的 LED 指示器
- 對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
- 現(xiàn)場(chǎng)總線接口(Profibus DP、DeviceNet)允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計(jì)輕松集成到真空系統(tǒng)中
典型應(yīng)用
- 高真空壓力監(jiān)控
- 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
- 高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制