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EVG770 分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)

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面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-08-16
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值574
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來(lái)西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來(lái)自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來(lái)。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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1.簡(jiǎn)介我們的EVG770分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái),可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化
EVG770 分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī) 產(chǎn)品詳情

1. 簡(jiǎn)介

我們的EVG770分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái),可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從蕞大50 mm x 50 mm的小模具到蕞大300 mm基板尺寸的大面積均勻地復(fù)制模板。結(jié)合金剛石車削或直接寫入方法,分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVGSmartNIL工藝所需的母版。

2. 主要應(yīng)用

主要使用連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),可進(jìn)行有效的母版制作(例如:微鏡頭制作)。

3. 特色

EVG770的主要功能包括精確的對(duì)準(zhǔn)功能,全緬的過(guò)程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性。

4. 參數(shù)特征

1)高效的晶圓級(jí)光學(xué)微透鏡主制造,直至SmartNIL的納米結(jié)構(gòu)®

2)簡(jiǎn)單實(shí)施不同類型的主機(jī)

3)可變抗蝕劑分配模式

4)分配,壓印和脫模過(guò)程中的實(shí)時(shí)圖像

5)用于壓印和脫模的原位力控制

6)可選的光學(xué)楔形誤差補(bǔ)償

7)可選的自動(dòng)盒帶間處理

5. EVG770技術(shù)數(shù)據(jù)

1)晶圓直徑(基板尺寸):100300毫米

2)解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝)

3)支持的工藝:軟UV-NIL納米壓印

4)曝光源:大功率LEDi線)> 100 mW /cm2

5)對(duì)準(zhǔn):頂面顯微鏡,用于實(shí)時(shí)重疊校準(zhǔn)≤±500 nm和精細(xì)校準(zhǔn)≤±300 nm

6)弟一個(gè)印刷模具到模具的放置精度:≤1微米

7)有效印記區(qū)域:長(zhǎng)達(dá)50 x 50毫米

8)自動(dòng)分離:支持

9)預(yù)處理功能:涂層:液滴分配(可選)

6. 納米壓印工藝結(jié)果

晶圓級(jí)微透鏡制造


圖1 微鏡頭

納米壓印結(jié)果(100納米分辨率)

圖2 納米壓印結(jié)果(100納米分辨率)

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產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
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