- 產(chǎn)品描述
RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)詳細(xì)介紹：
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。(3)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí)，空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。
OTL1200單溫區(qū)轉(zhuǎn)動(dòng)管式爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。2、采用*成型。3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
（全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品型號(hào)規(guī)格：
型號(hào) 功率 爐管尺寸(mm) 外形尺寸 電源電壓 相數(shù) RTF-PECVD-1200-60 3.5KW Dia60(OD)X1400mm 1300X420X1200 220V 單相 加熱元件：瑞典Kanthal A1 進(jìn)口電阻絲 （電阻絲可承諾保修2年）控制方式：采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配）可選配日本導(dǎo)電程序控溫儀表1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配）4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。5、儀表具有溫度自整定的功能
控溫模式：智能PID 斷偶保護(hù)和顯示:有 過(guò)溫保護(hù):有 過(guò)流保護(hù):有爐膛材料：1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。2、采用*成型。3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)控制精度：+/- 1 ℃觸發(fā)器：移相觸發(fā)電器：浙江正泰可控硅：106/16E 德國(guó)西門(mén)康溫度:1200 ℃額定溫度:1100 ℃升溫速率:≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）推薦升溫速率:≤10℃/ Min熱電偶型號(hào):K 型加熱段長(zhǎng)度:400mm真空法蘭1、為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求。可將原有軟管接頭更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）2、如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率: 40W電動(dòng)推桿功率:40W爐子傾斜角度: -10~30度爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速率 :采用無(wú)級(jí)變速電機(jī) 轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min 之間可調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式 : 采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封四周表面溫度:≤45℃射頻電源（等離子體發(fā)生器）
功率輸出范圍: 0-500W反射功率:10W信號(hào)頻率:13.56MHZ±0.005%噪聲:<30 dB.冷卻方式:空氣冷卻輸入電源:208-240V 50/60HZGX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
流量控制和檢測(cè)采用
D07-7C質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程：采用質(zhì)子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）工作壓力：3MP準(zhǔn)確度：±1.5%氣壓降：<0.01MPa重復(fù)精度：±0.2% F.S路數(shù)：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭系統(tǒng)工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa工作溫度：5-45℃壓力真空表表：-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格靜態(tài)混氣室： Dia50 X 400MM接口： Dia6 1/4”VS-0.1抽氣系統(tǒng)
電源：220V尺寸：600X600X600波紋管：KF25X1000mm用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)：10 -1Pa真空擋板閥：KF25VRD-8真空泵(方案一)
型號(hào)：VRD-8極限分壓強(qiáng)：5X10-2 Pa進(jìn)排氣接口：KF25電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440RPM抽氣速率:2.2L/S電機(jī)功率:0.4KW無(wú)油干泵Perfeer ACP15（方案 二）
型號(hào) ACP15電源 100-240V 50/60HZ極限分壓強(qiáng) 0.02 Torr進(jìn)、排氣接口 KF25重量 25KG氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s抽氣速率 14 m3/h功率 450W電阻真空計(jì)
型號(hào):ZDR-1功率:25W真空度測(cè)量范圍:0.1-10 5 Pa電阻硅:ZJ-52T瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)（選購(gòu)）
型號(hào):PCG554輸入電壓:24V 1A DC（配有220V變壓器）真空計(jì)接口:KF16數(shù)字顯示:數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr產(chǎn)品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)重量:5 lbs檢測(cè)氣體:可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。是否防腐:防腐響應(yīng)時(shí)間:≤30ms測(cè)量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr.GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
