WGFGT1PR1ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器美國ENTEGRIS應(yīng)特格過濾器
WGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEK1442-PR-0812E0210N探頭
ENTEK1442-DR-5850前置器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
EntegrisWGFG02PR1過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
GENTECSS-RV32RA-TF8泄壓閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWGPM0GGT4過濾器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
gentec-EoMAESTRO主機(jī)
gentec-EoUP19K-15S-H5-D0探頭
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機(jī)柜中。
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
應(yīng)用
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
濾芯
由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm
揮發(fā)物 <10 ppb 水分
移除等級 ≥0.0015 µm
表面處理內(nèi)部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
經(jīng)過測試 1 × 10 -9毫升/秒
運(yùn)行條件 入口壓力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
正向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有顆粒（參考 穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
零件號
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度 應(yīng)用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學(xué)
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導(dǎo)體
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISYY260103N過濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十個(gè)）濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
EntegrisCWFV0S1S3濾芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGPM0GGG2過濾器
entegrisWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFG50PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisYY5032PS1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
entegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2美國ENTEGRIS應(yīng)特格過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0過濾器美國ENTEGRIS應(yīng)特格過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
