一、3路質(zhì)子流量計(jì)混合供氣系統(tǒng)概述
1．氣體從鋼瓶出來(lái)，經(jīng)過(guò)減壓閥減壓，通過(guò)四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過(guò)質(zhì)子流量計(jì)控制氣體流量，然后經(jīng)過(guò)混氣罐，再進(jìn)入爐子進(jìn)氣口，氣體從出氣管出來(lái)，經(jīng)過(guò)三通閥門(mén)，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤(pán)與質(zhì)子流量計(jì)安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個(gè)高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計(jì)，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
二、3路質(zhì)子流量計(jì)混合供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
氣路通道： 3
氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。
接 口： Φ6
顯 示： LED
工作環(huán)境溫度: 5~45℃
流量控制器： 質(zhì)子流量控制器（詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)查看后面）
四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)
壓力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截 止 閥：Φ6
三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過(guò)大，不然容易造成漏氣，只要?dú)怏w能正常流出來(lái)即可。
四、供氣系統(tǒng)的配置：
1、質(zhì)子流量計(jì)：3個(gè)
2、壓力表：1個(gè)
3、截止閥門(mén)：4個(gè)
4、穿板接頭：4個(gè)
5、閥門(mén)接頭：2個(gè)
6、鋼瓶接頭: 3個(gè)
7、聚四氟乙烯管：15M
8、混氣罐：1個(gè)
9、爐架：1臺(tái)
 
質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
主要指標(biāo):
 
量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）
準(zhǔn)確度：±1.5% F.S
線性：±0.5～1.5% F.S
重復(fù)精度：±0.2% F.S
響應(yīng)時(shí)間：10S
氣壓降：<0.01MPa
壓力：3MP
工作環(huán)境溫度：5～45℃
輸入輸出信號(hào)：0～+5.00V
電源：+15V 50mA -15V 50mA
外形尺寸：158*30*110