- 特點(diǎn)：
- 用途：
- 技術(shù)參數(shù)：
成像質(zhì)量良好，結(jié)構(gòu)簡潔
臥式結(jié)構(gòu)，雙端口測量
操作方便，使用簡單
波長調(diào)諧式條紋分析系統(tǒng)
雙端口檢測
大口徑平面元件面型檢測
光學(xué)材料均勻性測量
平行平板元件多表面測試
元件面型分析，光學(xué)數(shù)據(jù)處理
序號 | 指標(biāo)名稱 | 指標(biāo)水平 |
1 | 測試方式 | 雙端口臥式結(jié)構(gòu) |
2 | 有效測試口徑 | 大端口≥Φ600mm；小端口≥Φ100mm |
3 | 相移方式與測試波長 | 波長調(diào)諧光源，波長632.8nm（可選1064nm,1053nm等） |
4 | 調(diào)焦 | 光瞳調(diào)焦范圍大于±2.0m |
5 | 變焦 | 1X光學(xué)變焦+50X數(shù)字變焦 |
6 | 探測器 | 分辨率≥1.2K×1.2K 或≥2.3K×2.3K 或≥3.4K×3.4K |
7 | 儀器傳遞函數(shù)（ITF） | ＞0.70 @ 0.6 cycles/mm |
8 | φ600mm標(biāo)準(zhǔn)楔形鏡（TF鏡） | PV優(yōu)于λ/15,RMS優(yōu)于λ/80，PSD1小于0.70nm |
9 | φ600mm標(biāo)準(zhǔn)反射鏡（RF鏡） | PV優(yōu)于λ/15,RMS優(yōu)于λ/80，PSD1小于0.70nm |
10 | 系統(tǒng)空腔精度 | PV優(yōu)于λ/14,RMS優(yōu)于λ/80，PSD1小于0.70nm |
11 | 系統(tǒng)重復(fù)性精度 | RMS重復(fù)性精度：＜λ/2000（2σ） |
12 | 系統(tǒng)穩(wěn)定性 | 24小時(shí)測試，系統(tǒng)空腔精度與重復(fù)性均達(dá)到第10,11項(xiàng)精度指標(biāo) |
13 | 系統(tǒng)可靠性 | 平均*工作時(shí)間大于1000小時(shí)，連續(xù)*工作時(shí)間大于48小時(shí) |
14 | 分析系統(tǒng) | QPS快速抗振波長調(diào)諧隨機(jī)相移分析系統(tǒng) |
15 | 平行平板分析 | 多波長掃描平行平板分析功能，厚度范圍1mm-5m |
16 | 材料光學(xué)均勻性分析 | 四步法材料均勻性測量分析 |
17 | 測試對準(zhǔn)方式與角度 | 快速對準(zhǔn)角度＞±15°，測試操作時(shí)間小于2min |
18 | 測試工裝 | 兩維角度調(diào)節(jié)，一維平移調(diào)節(jié)，氣浮大范圍調(diào)節(jié) |
