概述
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。EPX180 使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列，可提供的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX 泵系統(tǒng)在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作，增壓室內(nèi)無潤滑或密封液。這樣可以泵送系統(tǒng)清潔，不會因為系統(tǒng)的排空而使油或液體回流到系統(tǒng)中。
泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風(fēng)扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應(yīng)和回水管通過水接頭（由客戶）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當，以便不會達到結(jié)。
泵裝有一個 EMC 供應(yīng)過濾器和一個變換器驅(qū)動，該驅(qū)動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態(tài)。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會加快，直至該速度終達到其預(yù)定的大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會再次減慢。
EPX L 系列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控制設(shè)備進行控制和監(jiān)視，而控制設(shè)備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。
EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。
泵保護傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關(guān)閉泵。
泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此，EPX 泵適合在不允許使用風(fēng)扇的潔凈室環(huán)境下使用。冷卻水供應(yīng)和回水管通過水接頭（由客戶）連接到泵。冷卻水的提供必須與環(huán)境條件（濕度和溫度）相當，以便不會達到結(jié)。
泵裝有一個 EMC 供應(yīng)過濾器和一個變換器驅(qū)動，該驅(qū)動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態(tài)。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時，馬達會加速到某個速度，該速度受可以由變換器驅(qū)動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低，馬達速度會加快，直至該速度終達到其預(yù)定的大速度。如果入口處的壓力增大，則馬達速度會再次減慢。
EPX L 系列的泵不能進行手動操作；這些泵必須通過外部控制設(shè)備進行控制和監(jiān)視，而控制設(shè)備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。
EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。
泵保護傳感器可在出現(xiàn)故障狀態(tài)時自動關(guān)閉泵。
應(yīng)用
- EPX 系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。
功能和優(yōu)勢
- 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
- 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
- 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在進氣口壓力下連續(xù)工作。
- 清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
- – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
- 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進行診斷監(jiān)視和控制。
數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 170 m3h-1 |
| 105 ft3min-1 | |
| 2835 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 104 mbar | |
| <7.5 x 10-5 Torr | |
| <1 x 10-2 Pa | |
| 預(yù)熱時間（達到標稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO63 |
| 法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 水接頭 | 3/8 in 快速 |
| 冷卻水流速 | 2 lm-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz 三相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 43.5 kg |
