參數(shù)和特殊功能:
吸頭和樣品之間的電動進樣;
超過150毫米x150毫米的電動X-Y移動;
使用編碼器進行主動位置跟蹤;
Z方向的步長:625 nm;
X和Y方向的全步長:5 µm /使用微步操作;
功函數(shù)分辨率:<1>1>,金屬端部直徑為1.4 mm;
最小的吸頭直徑:0.1毫米;
集成法拉第籠;
鍍金鋼架;
包括兩個黃金KP頭
尺寸:50厘米(寬)x 60厘米(深)x 25厘米(高),
樣品尺寸:150毫米x150毫米;
真空樣品夾頭,
包括參考樣品:HOPG,Si上的Au,Al/ Au邊緣,電位檢查。