PVD真空室氣體穩(wěn)定質(zhì)量流量控制器ALICAT 設(shè)備的定制范圍從 40 g/h 到 100 kg/h ，測量范圍為 2 到 100 F.S.。
有關(guān)所有設(shè)備的規(guī)格，請參閱Alicat_CODA-SPECS-CN-v3。
如需全面的設(shè)備指南，請閱讀 CODA 儀表操作手冊。
PVD真空室氣體穩(wěn)定質(zhì)量流量控制器ALICAT 在操作條件下進行高精度控制。 CODA 控制器與各種液體和氣體（包括許多腐蝕性物質(zhì)）兼容，并在高達(dá) 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速下保持高精度控制。
PVD真空室氣體穩(wěn)定質(zhì)量流量控制器ALICAT CODA KC 系列參數(shù)
量程范圍：40 g/h 至 100 kg/h
測量范圍： 2–100 F.S.
精度，NIST 可溯源（液體）：讀數(shù)的 ±0.2% 或 ±0.05% F.S.，以較大者為準(zhǔn)
精度，NIST 可溯源（氣體）：讀數(shù)的 ±0.5% 或 ±0.05% F.S.，以較大者為準(zhǔn)
重復(fù)性：讀數(shù)的 ±0.05% 或 ±0.025% F.S.，以較大者為準(zhǔn)
零位穩(wěn)定性：±0.05% F.S.
響應(yīng)時間：快至500ms
PVD真空室氣體穩(wěn)定質(zhì)量流量控制器ALICAT CODA KC 系列操作條件
工作溫度：–35 至 70°C（流體）； 0 至 60°C（環(huán)境）；咨詢 Alicat 了解更多選項
耐壓：1500 PSIA 大部分單位； 40 g/h 單位為 200 PSIA；可選 4000 PSIA，≥100 g/h
設(shè)備的定制范圍從 40 g/h 到 100 kg/h ，測量范圍為 2 到 100F.S.。
