產(chǎn)品詳情
1.材質(zhì):304不銹鋼;
2.真空度:2x10-5Pa;
3.抽氣速率:大氣進(jìn)入10-3Pa≤20分鐘;
4.真空腔主體內(nèi)尺寸:400x400mm,直徑x高;
5.真空腔上部有1個(gè)活動(dòng)門(mén),為鉸鏈?zhǔn)絺?cè)開(kāi),采用氟膠圈型式密封;
6.上蓋中心位置有1個(gè)Φ100石英玻璃觀察窗;
7.真空腔體側(cè)面均布4個(gè)接口,其中3個(gè)為ISO 160盲板接口,1個(gè)為DN150抽氣口;
8.腔體抽氣口一側(cè)KF16,KF40測(cè)真空口各1個(gè),KF25放氣口1個(gè);
9.表面處理:電解拋光處理;
10.系統(tǒng)漏率:-10Pa·m3/s。