數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數(shù)
量程: 5sccm~300oslm(N2當(dāng)量)
精度: ±1.0%F.S
量程比: 50:1(流量控制器)100:1(流量計)
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
線性精度: ±0.5%F.S
環(huán)境溫度: 5~45℃
溫度系數(shù): <±0.1%F.S/℃
壓力系數(shù): <±0.5%bar
泄漏率: <2*10-8atm.ml/S
耐壓: 3MPa(流量小于30slm可選6MPa)
供電: 24vdc或±15vdc
模擬信號: 0~5vdc或4~20mA
數(shù)字信號: 液晶顯示RS232RS、485(Modbus-RTU)
連接方式: 卡套式連接或VCR連接
(連接尺寸根據(jù)客戶需求而定)