SJ6000激光干涉儀精密測量儀器的測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)，采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號：SJ6000
產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ6000激光干涉儀精密測量儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，還可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
