關鍵詞：納米晶、工具涂層、金剛石涂層、熱絲化學氣相沉積系統、HFCVD、UNCD、NCD、摻雜
超納米晶、金剛石刀具、MEMS、光學窗口、熱沉片、cutting tools、微機電系統、B-doping
熱絲化學氣相沉積(Hot Filament Chemical Vapor Deposition System namely HFCVD)方法常常應用于工具表面的金剛石涂層、熱沉金剛石片及自支撐超納米晶金剛石薄膜的合成；其應用于機械工具、微機電系統（MEMS）,光學窗口等。
我們提供熱絲化學氣相沉積系統（HFCVD system），適合于：
1. 合成各種厚度和大面積的超納米晶(ultra-nanocrystalline diamond coating/film/wafer；UNCD)、納米晶（nanocrystalline diamond coating/film/wafer；NCD）、微米晶(microcrystalline diamond coating/film/wafer；MCD)金剛石；有效沉積面積可以達到0.5m2；
2. 可以在不同工具形狀表面沉積，例如沉積3D diamond coatings 或者diamond dome；
3. 也可以用于摻雜研究（例如B-doping ），或多層膜結構研究及生產；
4. 應用于各種領域，例如cutting tools，metrology，thermal management等。
我們將根據您的需求，提供您應用的配置；購買我們的設備，我們也將提供工藝服務；如果您對我們的設備感興趣，請聯系我們！
