簡單介紹
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅晶片（Silicon Wafer）檢測、液晶屏（LCD）檢測、導(dǎo)電粒子（Conductive Particles）檢查，實驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域研究，可對樣品進行明場、暗場、微分干涉及偏光觀察。
導(dǎo)電粒子觀察顯微鏡性能特點：
★ 系統(tǒng)采用無限遠平場消色差、長工作距、明暗場兩用物鏡，成像清晰、像面平坦
★ 配備反射式柯拉照明系統(tǒng)，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
★ 正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
★ 配備了6"帶離合器機械平臺，行程158*158mm，可快速移動
★ 人機學(xué)設(shè)計，高剛性鏡臂，"Y"型底座，調(diào)焦機構(gòu)采用前置式操作控制，粗微調(diào)同軸
★ 光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù)，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能
★ 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件，拓展應(yīng)用領(lǐng)域
導(dǎo)電粒子顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)：
光學(xué)系統(tǒng):無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)
物鏡
無限遠平場消色差，長工作距金相物鏡（明暗場兩用），5X、10X、20X、50X、80X
目鏡:高眼點平場目鏡，PL10X，線視場φ22mm
高眼點平場目鏡，PL15X，線視場φ16mm
觀察筒:正像，鉸鏈式三目，25°傾斜，分光比：雙目99%，三目99%
照明系統(tǒng):反射式柯拉照明，明暗場切換，帶簡易偏光接口，12V/100W鹵素燈，預(yù)置中心
采用數(shù)字調(diào)光，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能，帶針孔光欄
調(diào)焦機構(gòu):粗微調(diào)同軸，帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機限位裝置
粗調(diào)行程：33mm（焦后1mm），微調(diào)精度：0.001mm
樣品高度：32mm
物鏡轉(zhuǎn)換器:內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
載物臺:6英寸矩形，機械移動平臺200mmX200mm，移動行程：158mmX158mm
低位同軸調(diào)節(jié)，帶離合器控制手柄，可快速移動
機架:全新的人機工程學(xué)設(shè)計，高剛性鏡臂，"Y"型底座，前置式操作控制
選購附件:攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等
觀察筒:正像觀察筒，物的移動與像的移動方向一致，不會出現(xiàn)使用倒像觀察筒時物像方向相反而產(chǎn)生的錯覺。避免操作失誤，提高工作效率。
1、鉸鏈式觀察筒，25°傾斜，視度調(diào)節(jié)（±5）
2、分光比：雙目99%，三目99%
3、瞳距調(diào)節(jié)（54-75mm），無需筒長補償
粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu):
1、采用新型導(dǎo)軌機構(gòu)，粗微動同軸
2、低手位設(shè)計，操作舒適
3、帶有粗調(diào)松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機限位裝置
4、調(diào)焦行程：33mm
5、調(diào)焦精度：0.001mm
6、樣品高度：32mm
機械移動載物臺:
1、雙層機械移動式，帶離合器控制手柄，可快速移動
2、特殊材料制造、特殊工藝處理，耐磨耐腐蝕
3、低手位同軸調(diào)節(jié)手柄，操作更加舒適
4、6英寸矩形，移動行程：158mmX158mm
離合器控制手柄--通過離合控制，可以脫開手輪傳動從而實現(xiàn)快速無阻移動，提高大面積樣品檢測時的移動效率
照明系統(tǒng):
1、12V/100W鹵素燈，預(yù)置中心
2、90V-240V寬電壓，旋鈕式數(shù)字調(diào)光
3、具有光強設(shè)定與復(fù)位功能，用于特定觀察或拍攝照片
4、反射式柯拉照明，帶視場光欄與孔徑光欄，均可調(diào)中心
5、推拉式針孔光欄，主要用于50X以上的物鏡，觀察高景深高對比度
物鏡轉(zhuǎn)換器:
1、內(nèi)定位內(nèi)傾式、五孔明暗場兩用物鏡轉(zhuǎn)換器
2、物鏡的安裝和操作更為便利
3、高精度制造，保證系統(tǒng)齊焦
偏光裝置:
1、選擇簡易偏光附件可以實現(xiàn)偏光觀察
2、S-PO起偏鏡，S-AN檢偏鏡
