Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋/ 內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。
GCT-225系列產(chǎn)品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或M12x1 接頭進(jìn)行電氣連接。
GCT-225 系列壓力變送器采用Setra 的可變電容技術(shù)，配有VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra *的定制集成電路采用的電荷平衡原理制成，幾乎不受EMI/RFI 干擾。
在制造和裝配完成后，Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾摺⒑娓?、雙層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚?，最后才發(fā)貨。
注：Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST 可追蹤性。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·堅(jiān)固耐用，*安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。
GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋/ 內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。GCT-225
系列產(chǎn)品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或M12x1 接頭進(jìn)行電氣連接。
GCT-225 系列壓力變送器采用Setra *技術(shù)的可變電容技術(shù)，配有VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，隔膜會(huì)變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra *的定制集成電路采用*技術(shù)的電荷平衡原理制成，幾乎不受EMI/RFI 干擾。
在制造和裝配完成后，Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾?、烘干、雙層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚?，最后才發(fā)貨。
注：Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST 可追蹤性。
特性
• 泄露率低
• VCR 接頭
• 易于吹掃的小腔室
• 200PSI/250PSI/3000PSI
• 316 L VIM/VAR 不銹鋼
• 表面拋光度 7 Ra
• VCR 接頭
• 1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
• 堅(jiān)固耐用，*安裝
• 4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
• 符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
• 高純度氣體輸送系統(tǒng)
• 半導(dǎo)體過程工具
• 氣柜
