中圖儀器3d光學(xué)檢測輪廓儀可測量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過白光干涉儀主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)，屬于3D測量領(lǐng)域高精度檢測儀器之一，其在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達(dá)到其精度要求。
性能特點
1、參數(shù)測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積；
2、環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測，納米波動，也無可藏匿；
3、雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；
4、自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；
5、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。
中圖儀器3d光學(xué)檢測輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
中圖儀器讓輪廓測量價格更為實惠，3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備的分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
