使用嶄新的技術(shù),提供高速度與精確度,建立出可靠以及可信賴的量測系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測量軟體,可程式化的光學(xué)變焦,3X的數(shù)碼變焦,非線性平臺補償,非線性光學(xué)補償,先進的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟體功能強大:使用滑鼠就能輕鬆編寫程式,專有的系統(tǒng)尋邊功能,先進的光源控制及校正功能,與複合感測器結(jié)合,自動校正,可清晰顯示測量資料及公差。
技術(shù)參數(shù)
| Vertex 251HM/HC | Vertex 251 | Vertex 311 | Vertex 311UM/UC |
量測行程(mm) | 250x160x160 | 315x315x160 | ||
承載重量 | 10kg | |||
XY軸精度(μm) | 2.0+L/200 | 1.8+L/200 | 2.5+L/200 | 2.0+L/200 |
Z軸精度(μm) | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 |
解析度 | 0.1μm | |||
基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | |||
光學(xué)變焦 | 6.5x | 12x | 6.5x | 12x |
數(shù)位變焦 | 3x | |||
綜合倍率 | 20~390x/15~540x |