中圖儀器光學表面輪廓測量儀可以在無外接氣源的條件下可穩(wěn)定工作,在車間也能正常工作。因為其雙通道氣浮隔振系統設計,既可以接入客戶現場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,也可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝?,同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動。
重建算法自動濾除樣品表面噪點,在硬件系統的配合下,分辨率可達0.1nm。
產品參數
產品型號:SuperView W1系列
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
影像系統:1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
可測樣品反射率:0.05%-100%
水平調整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析,測量速度快、效率高
生產企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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深圳市中圖儀器股份有限公司是國家高新技術企業(yè),致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產和銷售。歷經了十多年的技術積累和發(fā)展實踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項技術能力強,具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。
【應用】
應用案例:手機曲面屏玻璃的檢測
各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物,其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀,會劃傷器件表面,而一般的非接觸式光學影像方法,也沒有辦法克服它的高透明度特性。中圖儀器SuperViewW1為玻璃和光學鏡片的表面質量提供了標準解決方案。
生活中智能手機、平板電腦、智能手表等日常的智能產品中常見的玻璃屏,需要對其表面粗糙度和輪廓進行檢測。以手機玻璃屏為例:
玻璃屏表面粗糙度檢測
中圖儀器以白光干涉測量技術為基礎而研發(fā)生產出的SuperViewW1光學表面輪廓測量儀對產品進行高品質監(jiān)控時不需要取下產品或停止生產,而且采用的是非接觸式光學測量,在獲得實時數據的同時,不會對產品造成任何損傷,從而有效節(jié)約了生產成本,提高了生產效率,并且在線檢測,沒有滯后性,從而減少不合格品,對表面缺陷檢測亦如此。