ZY-1壓阻規(guī)--熱偶規(guī)復(fù)合真空測量儀在ZO-2 熱偶真空測量儀基礎(chǔ)上增加了一路壓阻規(guī)管，用于測量101kPa～200Pa之間的真空度。本儀器可同時測量兩路真空度，其中真空室1由熱偶規(guī)管1和壓阻規(guī)管分段復(fù)合測量。
1 . 主要技術(shù)指標(biāo)
1.1 測量范圍： 101kPa～100 Pa ±10% (壓阻規(guī)管)
200～1 Pa ± 20%(熱偶規(guī)管)
1～0.1 Pa ± 50%(熱偶規(guī)管)
1.2 配用規(guī)管： ZJ—54D 熱偶規(guī)管
YZG—15A 壓阻規(guī)管
1.3 電源電壓： 交流220V 50Hz
1.4 使用環(huán)境： 5～30℃ 濕度 < 80%
1.5 外形尺寸： 321(w)X255(h)X380(D)mm3
開孔尺寸: 300(w)X220(h)mm2
2. 工作原理和使用方法
2.1 工作原理：
本儀器熱偶規(guī)管采用定流方式工作。工作電流可以數(shù)字設(shè)定?？梢宰詣诱{(diào)整**滿度和高真空時的滿度加熱電流。真空度的單位自動轉(zhuǎn)換。
為了提高101kPa～200Pa測量精度，同時避免氣體種類對測量結(jié)果的影響，本儀器對真空室1復(fù)合了壓阻規(guī)管，當(dāng)真空室1的真空度處于上述范圍時，壓阻規(guī)管工作，高于上述范圍時，熱偶規(guī)管工作。
壓阻真空規(guī)管是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體，按特定晶面，根據(jù)不同的受力形式分別加工成彈性應(yīng)變元件，在彈性應(yīng)變元件的適當(dāng)位置，用集成電路工藝技術(shù)擴散四個等值電阻，組成惠斯登電橋。當(dāng)不受壓力作用時，電橋處于平衡狀態(tài)；當(dāng)受到壓力作用時，一對橋臂電阻變大，另一對變小，電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓)，便輸出對應(yīng)于所加壓力的電壓信號，從而達到測量氣體壓力的目的。同時，由于壓力測量取決于單晶硅基片的形變程度，測量結(jié)果與氣體種類無關(guān)。
由于這種傳感器的感受、**和檢測三部分同由一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，所以不重復(fù)性和遲滯等誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性度，因此綜合精度**。
本儀器提供了壓阻真空規(guī)管工作所**需的恒流源，并接收規(guī)管送出的壓力信號。所有的調(diào)零、調(diào)滿度等均由軟件完成，并且用軟件對規(guī)管電流源的微小變化進行補償，擴大了規(guī)管的測量范圍。使用**方便。
