在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

優(yōu)化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量

對真空系統(tǒng)檢漏

減少停機時間，提高流片量

價格低廉，極為優(yōu)異的性價比

濺射工藝在線質譜分析儀
SPM-MC濺射工藝在線質譜分析儀是專為鍍膜生產等工業(yè)應用開發(fā)在線濺射工藝四極質譜分析儀。分析室采用超高真空金屬密封和無油超高真空分子泵抽氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng)控制采用單按鈕式，全量程自動監(jiān)測并開啟四極質譜。取樣系統(tǒng)采用不銹鋼波紋管及手動閥門，直接接入工藝真空室采樣。分析器采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質譜，通過RS232接入筆記本電腦，由專用的控制軟件分析，完成對濺射工藝真空室的分壓測量和成份分析:掃描全譜，趨勢分析，檢漏等。

規(guī)格：
測量氣體范圍
XT100（M）             1到100 amu
XT200（M）             1到200 amu
XT300（M）             1到300 amu

檢測類型                    法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）   5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率                       1 amu ，10%峰高
最小可檢分壓強         10-11  torr或10-14 torr（電子倍增   
                                  器），氮28，10%峰高
工作范圍                    10-4  torr到超高真空
工作環(huán)境溫度      40°C
烘烤溫度                    300°C（不包括CCU）
通訊端口                    RS-232C，115,200 Baud
軟件運行環(huán)境             Windows® 2000或XP