HORIBA STEC SEC-N112MGM SEC-N122MGM SEC-N132MGM SEC-N142MGM SEC-N172R HORIBA STEC SEC-N114MGM SEC-N124MGM SEC-N134MGM SEC-N144MGM SEC-N174R HORIBA STEC SEC-N116MGM SEC-N126MGM SEC-N136MGM SEC-N146MGM SEC-N176R
控制范圍廣,從微流到大量程(3 SCCM 至 1000 SLM)
支持多種通信模式和電源
精度:+/- 1.0% 設定點 (*1)
小于1 秒響應(*1)
多氣體/多量程功能