規(guī)格
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于50slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質(zhì)量流量控制器, 適用于200slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質(zhì)量流量控制器, 適用于 50slm N2 標(biāo)稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質(zhì)量流量控制器, 適用于 200slm N2 標(biāo)稱流量.
概要
質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中非常關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)*超過35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來(lái)始終如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手?jǐn)y全新的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。
相對(duì)于舊有的型號(hào)，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了全新的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來(lái)。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換。客戶可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類和量程*2。
此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，為客戶提升產(chǎn)品價(jià)值。
高性能的Z500系列流量計(jì)，將帶給您更多驚喜。正見證著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報(bào)告。
*2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。
特征
- 高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項(xiàng)式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)保證在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)， 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。 - 高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，保證任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí)，PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。 - 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來(lái)。 如此一來(lái)，就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量，同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。
