量程10 SCCM-3000 SLPM，優(yōu)于2 %的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時間，適用于高壓應(yīng)用
21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣，能對需要較高管線壓力（160-320 psia）的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 環(huán)境監(jiān)測
● 真空行業(yè)及鍍膜 ● 工業(yè)爐窯
● 半 導(dǎo) 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計量校準(zhǔn) ● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
● 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
● 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
● 耐用。21Q系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護(hù)。
精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取值）
測量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復(fù)性 ± 0.1%滿量程
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差
性能指標(biāo)
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）
測量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程
顯示流量 高達(dá)128%滿量程（取決于氣體）
可控流量 102.4%滿量程
顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級見上段
重 復(fù) 性 ± 2%滿量程
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應(yīng)時間 優(yōu)于100 ms
預(yù)熱時間 ＜1s
標(biāo)定工況 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 99%
工作壓力 320 psia
滿量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）
供電電流 0.250 A
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 303和302不銹鋼、Viton?、熱固化硅橡膠、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯(lián)系我們。
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護(hù)等級 IP40
認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
選項(xiàng)配件
（需另行訂購）
● 過程端口接頭和過濾器
● 電源
● 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
● BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒
● Flow Vision軟件
包裝清單
● MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
● NIST可溯源校準(zhǔn)證書
● 艾里卡特操作說明書
尺寸詳圖
尺寸壓損
滿量程質(zhì)量流量控制器 | 滿量程壓損（PSID） 排氣到大氣中 | 機(jī)械尺寸1 | 過程連接2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 4.4''H x 3.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋） |
100 SCCM ~ 500 SCCM | 1.0 | 4.6''H x 3.6''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 內(nèi)螺紋 |
1 SLPM | 1.5 | ||
2 SLPM | 3.0 | ||
5 SLPM | 2.0 | ||
10 SLPM | 5.5 | ||
20 SLPM | 20.0 | ||
50 SLPM | 9.0 | 5.7''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
100 SLPM | 2.6 | ||
250 SLPM | 4.6 | 6.0''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/2'' NPT 內(nèi)螺紋 |
500 SLPM | 6.5 | 6.0''H x 7.3''W x 2.3''D | 3/4'' NPT 內(nèi)螺紋 （A 1-1/4” NPT 內(nèi)螺紋可選過程連接 可用于2000 slpm 流量計） |
1000 SLPM | 14.0 | ||
1500 SLPM | 17.0 | ||
2000 SLPM | 28.6 | 6.0''H x 8.1''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 16.8 | 6.0''H x 8.9''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 內(nèi)螺紋 |
注1、公制數(shù)據(jù)見圖紙； 2、與Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可根據(jù)要求連接VCR和SAE。 3、與M-5 （10-32）外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內(nèi)螺紋接頭一起裝箱。 | |||
產(chǎn)品大圖
