XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用——從科研機構(gòu)的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。這一測量機的測量精度達到技術(shù)極限,其測量范圍近1立方米。
創(chuàng)新的機械設(shè)計
XENOS采用了全新的機械設(shè)計理念。與標準橋式測量機不同:Y導軌分布于側(cè)壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。
所有軸均采用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響。結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度。例如,測針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精準性。
虛擬驅(qū)動
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng),得益于蔡司的驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
碳化硅陶瓷
XENOS在與精度密切相關(guān)的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性
加強型VAST gold
XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優(yōu)化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。
優(yōu)化的氣浮軸承
全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。
改進的電子設(shè)計
通過全新的電子設(shè)計,移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
長度測量誤差E0
0.3 + L/1,000 μm
X | Y | Z | |
9/15/7 | 900 | 1200 | 700 |