（一）專用螺紋掃描
1. 外尺寸測量范圍（mm）：1.0~150
2. 內(nèi)尺寸測量范圍（mm）：2.5~160
3. 掃描 范 圍（mm）：75
4. 最 小 螺 距（mm）：0.1
5. 儀 器 重 量 （kg）：300
6. 測量不確定度：
6-1）圓柱螺紋環(huán)規(guī)或錐型螺紋環(huán)規(guī)（10 mm以上小徑，牙型半角≥27°）
1）小 徑 （µm）：3.0 + L/200
2）實(shí)際螺紋中徑（µm）：3.0+ L/200
3）螺 距 （µm）：0.75 + L/200
6-2）圓柱螺紋環(huán)規(guī)或錐型螺紋環(huán)規(guī)（2.5~10 mm小徑，牙型半角≥27°）
1）小 徑 （µm）：3.0+ L/200
2）實(shí)際螺紋中徑（µm）：3.0+ L/200
3）螺 距 （µm）：0.75 + L/200
6-3）圓柱螺紋塞規(guī)或錐型螺紋塞規(guī)（1mm上大徑，牙型半角≥27°）
1）大 徑 （µm）：2.5 + L/200
2）實(shí)際螺紋中徑（µm）：2.5 + L/200
3）螺 距 （µm）：0.75 + L/200
6-4）光面圓柱環(huán)規(guī)或錐型光面規(guī)（直徑10mm以上 ）
1）光面環(huán)規(guī)直徑（µm）：1.5 + L/200
2）光面塞規(guī)直徑（µm）：1.5 + L/200
6-5）光面圓柱環(huán)規(guī)或錐型光面規(guī)（直徑1~10 mm）
1）光面環(huán)規(guī)直徑（µm）：2.0 + L/200
2）光面塞規(guī)直徑（µm）：2.0 + L/200
（二）輪廓測量技術(shù)指標(biāo)
1. 外尺寸測量范圍：0~150 mm
2. 內(nèi)尺寸測量范圍：2.5~160 mm
3. X軸和Z軸全程分辨率：0.01µm
4. X軸測量精度：±(1.5+L/100)µm
5. Z軸測量精度：±(1.5+L/100)µm
6. 爬坡能力：75°(T形測針)
7. 測量力：40~150mN可調(diào)
8. 測量速度：0.01~2mm/s
